Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Ш 18 Автор(ы) : Шалаева, Елизавета Викторовна Заглавие : Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Выходные данные : Екатеринбург, 1993 Колич.характеристики :22 с Коллективы : Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Примечания : Библиогр.: с. 21-22 (11 назв.) ГРНТИ : 31.15 ББК : 541.1 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ Аннотация: Работа выполнена в лаборатории износостойких покрытий Института химии твердого тела УрО РАН. С диссертацией можно ознакомиться в Центральной научной библиотеке УрО РАН Экземпляры :бр.ф.(1) Свободны : бр.ф.(1) Доп.точки доступа: Митрофанов, Борис Васильевич \науч. рук.\; ИХТТИнститут химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук