Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 546(Д)/Ш 18 Автор(ы) : Шалаева, Елизавета Викторовна Заглавие : Влияние физико-химических параметров ионно-плазменного осаждения на структуру пленок нитридов ниобия и титана : специальность 02.00.04 "Физическая химия" : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Выходные данные : Екатеринбург, 1992 Колич.характеристики :194 л. Коллективы : Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук Примечания : Библиогр.: с. 172-194 (238 назв.) ГРНТИ : 31.15 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ Экземпляры :бр.ф.(1) Свободны : бр.ф.(1) Доп.точки доступа: Митрофанов, Борис Васильевич \науч. рук.\; ИХТТИнститут химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук