Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Ш 37 Автор(ы) : Шевченко, Евгений Федорович Заглавие : Плазменные источники химической активности ионов на основе разряда с полым катодом для обработки функциональных слоев микроплат : специальность 01.04.13 "Электрофизика,электрофизические установки" : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Выходные данные : Екатеринбург, 2012 Колич.характеристики :22 с Коллективы : Северо-Кавказский федеральный университет, Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук Примечания : Библиогр.: с. 23-24. - Тит. л. отсутствует ГРНТИ : 29.27 ББК : 537.5 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ЭЛЕКТРИЧЕСТВО Экземпляры :бр.ф.(1) Свободны : бр.ф.(1) Доп.точки доступа: Мартенс, Владимир Яковлевич \рук. работы.\; Никулин, Сергей Павлович \оппонент.\; Ремпе, Николай Грбертович \оппонент.\; ИЭФ; Северо-Кавказский федеральный университет; Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук