Вид документа : Журнал Шифр издания : J33 Заглавие : Journal of Vacuum Science & Technology . Ser. B, Second Series : Nanotechnology and Microelectronics: Materials, processing, Measurement, and Phenomena Выходные данные : New York, 1983 Примечания : До 1983 года журнал выходил без серий ISSN: 2166-2746 ГРНТИ : 47 ББК : 648.5я52 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ЭЛЕКТРОНИКА Зарегистрированы поступления : 2014г. экз.1; (кх) т.Vol. 32; N :1-6; 2013г. экз.1; (кх) т.Vol. 31; N :5-6; 2013г. экз.2; (кх) т.Vol. 31; N :1-4; 2012г. экз.2; (кх) т.Vol. 30; N :6; 2012г. экз.1; (кх) т.Vol. 30; N :1-6; 2011г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 29; N :1-6; 2010г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 28; N :1-6; 2009г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 27; N :1-6; 2008г. экз.2; (кх) т.Vol. 26; N :2; 2008г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 26; N :1-6; 2007г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 25; N :1,5,6; 2006г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 24; N :1-6; 2005г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 23; N :1-6; 2001г. экз.1; (ИЭФ) т.Vol. 19; N :1-2,5-6; 1998г. экз.1; (ИФМ) т.Vol. 16; N :1; 1995г. экз.1; (кх) т.Vol. 13; N :2; 1991г. экз.1; (кх) т.Vol. 9; N :2 (Pt. 1) (мкфш),2 (Pt. 2) (мкфш),4 (мкфш); 1990г. экз.1; (кх) т.Vol. 8; N :2; 1990г. экз.2; (кх) т.Vol. 8; N :1 (мкфш),2 (мкфш),4 (мкфш),5 (мкфш) Издание можно найти в: кх;