С 38 Синтез наноразмерных слоев / Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. А. Кочедыков, В. Г. Шевченко // Письма в журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, № 3. - С. 26-32. - Библиогр.: с. 31-32 (13 назв.) . - ISSN 0320-0116 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ МЕТОД -- АЛЮМИНИЙ -- ИК-СПЕКТРОСКОПИЯ Аннотация: Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623oC и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520-580oC и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m2/g. |