S 98 Synthesis of aluminum nitride nanolayers / L. A. Akashev, N. A. Popov , V. A. Kochedykov, V. G. Shevchenko> // Technical Physics Letters. - 2013. - Vol. 39, № 2. - С. 154-156 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- НАНОСЛОИ |