Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/С 38 Автор(ы) : Акашев Л. А., Попов Н. А., Кочедыков В. А., Шевченко В. Г. Заглавие : Синтез наноразмерных слоев Место публикации : Письма в журнал технической физики. - 2013. - Т. 39, № 3. - С. 26-32. - ISSN 0320-0116. - ISSN 0320-0116 Примечания : Библиогр.: с. 31-32 (13 назв.) ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): эллипсометрический метод--алюминий--ик-спектроскопия Аннотация: Эллипсометрическим методом исследовано взаимодействие поверхности поликристаллического алюминия с азотом при медленном нагреве до температуры 623oC и давлении 1.25 atm. Показано, что процесс образования наноразмерного сплошного слоя нитрида алюминия происходит в интервале температур 520-580oC и выше. Максимальная толщина синтезированного наноразмерного слоя нитрида алюминия составляла 32 nm. Образование нитрида на поверхности алюминия подтверждено методом ИК-спектроскопии на порошках с удельной поверхностью 6.4 m2/g. Доп.точки доступа: Акашев, Л. А.; Попов, Н. А.; Кочедыков, В. А.; Институт высокотемпературной электрохимии УрО РАН; Шевченко, В. Г.