И 88 Исследование пленок TiAlN методом рентгеноэлектронной спектроскопии [] / М. В. Кузнецов, С. В. Борисов, Ю. Ф. Журавлев, Р. С. Барышев, О. Ф. Денисов, Б. В. Митрофанов, В. А. Губанов // Поверхность: физика, химия, механика. - 1989. - N 12. - С. 141-146 . - ISSN 0207-3528 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ХИМИЯ -- ПЛЕНКИ -- МЕТОД РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ -- Ti -- Al -- N -- ТИТАН -- TiAlN -- АЗОТ |