H 99 Influence of the deposition parameters on the composition, structure and X-ray photoelectron spectroscopy spectra of Ti-N films [] / M. V. Kuznetsov, M. V. Zhuravlev, E. V. Shalaeva, V. A. Gubanov // Thin Solid Films. - 1992. - V. 215, N 1. - С. 1-7 . - ISSN 0040-6090 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ОСАЖДЕНИЕ -- ПЛЕНКИ -- СПЕКТРОСКОПИЯ ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ -- ФОТОЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- СТРУКТУРА КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ -- КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА -- СПЕКТРОСКОПИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ -- РЕНТГЕНОВСКАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ -- Ti-N -- ТИТАН -- АЗОТ -- СИСТЕМЫ ДВОЙНЫЕ -- ДВОЙНЫЕ СИСТЕМЫ |