Ш 18 Шалаева, Е. В. Влияние примесного кислорода на структуру и состав пленок, полученных распылением Nb в среде Ar-N2 [] / Е. В. Шалаева, Е. В. Суров, Б. В. Митрофанов // Поверхность: физика, химия, механика. - 1989. - N 1. - С. 65-72 . - ISSN 0207-3528 Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ХИМИЯ -- Ar-N2 -- АРГОН -- АЗОТ -- Ar -- N2 -- ПРИМЕСИ -- КИСЛОРОД -- ПЛЕНКИ -- СТРУКТУРА ПЛЕНОК -- СОСТАВ ПЛЕНОК -- РАСПЫЛЕНИЕ -- Nb -- НИОБИЙ -- ГАЗОВЫЕ СРЕДЫ -- СРЕДЫ ГАЗОВЫЕ |