Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Э 45 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Журавлев Ю. Ф., Новиков Д. Л., Губанов В. А. Заглавие : Электронное строение пленок TiNx и TiNxOy Место публикации : Поверхность: физика, химия, механика. - 1990. - N 1. - С. 131-136. - ISSN 0207-3528. - ISSN 0207-3528 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--электронное строение--строение электронное--пленки--нитрид титана--оксинитрид титана--поверхности Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Журавлев, Ю. Ф.; Новиков, Д. Л.; Губанов, В. А.