Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Д 50 Автор(ы) : Шалаева Е. В., Кузнецов М. В., Барышев Р. С., Митрофанов Б. В. Заглавие : Диффузное рассеяние в нестехиометрических монокристаллических пленках NbN1-x, полученных методом ионно-плазменного распыления Место публикации : Химия твердого тела: Междунар. конф. (Одесса, 16-20 окт. 1990 г.): Тез. докл. - Свердловск; Одесса, 1990. - Т. 2. - С. 132 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--диффузное рассеяние--рассеяние диффузное--нестехиометрия--монокристаллические пленки--пленки монокристаллические--нитрид ниобия--метод ионно-плазменного распыления Доп.точки доступа: Шалаева, Е. В.; Кузнецов, М. В.; Барышев, Р. С.; Митрофанов, Б. В.