Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/К 89 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Журавлев Ю. Ф., Губанов В. А. Заглавие : Изучение электронной структуры тонких пленок TiNx, полученных методом "КИБ" Место публикации : Поверхность и новые материалы: 2-я Урал. конф. (Ижевск, 15-17 нояб. 1988 г.): Тез. докл. - Ижевск, 1988. - С. 85 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--структура электронная--электронная структура--пленки тонкие--тонкие пленки--tin--нитрид титана Доп.точки доступа: Журавлев, Ю. Ф.; Губанов, В. А.