Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/И 88 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Борисов С. В., Барышев Р. С., Денисов О. Ф., Митрофанов Б. В. Заглавие : Исследование пленок TiAlN методом рентгеноэлектронной спектроскопии Место публикации : Поверхность и новые материалы: 2-я Урал. конф. (Ижевск, 15-17 нояб. 1988 г.): Тез. докл. - Ижевск, 1988. - С. 86 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--tialn--пленки--метод рентгеноэлектронной спектроскопии Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Борисов, С. В.; Барышев, Р. С.; Денисов, О. Ф.; Митрофанов, Б. В.