Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Р 96 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Борисов С. В., Журавлев Ю. Ф., Губанов В. А., Денисов О. Ф., Барышев Р. С., Митрофанов Б. В. Заглавие : РЭС исследование пленок Ti-N, синтезированных методом КИБ Место публикации : Поверхность и новые материалы/ УрО АН СССР: Информ. материалы. - Свердловск, 1990. - С. 158-165 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): химия--ti-n--нитрид титана--пленки--синтез--метод рентгеноэлектронной спектроскопии Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Борисов, С. В.; Журавлев, Ю. Ф.; Губанов, В. А.; Денисов, О. Ф.; Барышев, Р. С.; Митрофанов, Б. В.