Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/Э 47 Автор(ы) : Барышев Р. С., Акашев Л. А., Митрофанов Б. В., Кононенко В. И., Борисов С. В. Заглавие : Эллипсометрические исследования оптических свойств TiNx Место публикации : Физика металлов и металловедение. - 1991. - N 8. - С. 201-204. - ISSN 0015-3230. - ISSN 0015-3230 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): эллипсометрия--свойства оптические--оптические свойства--tin--нитрид титана--ti--титан--n--азот--металлы Доп.точки доступа: Барышев, Р. С.; Акашев, Л. А.; Митрофанов, Б. В.; Кононенко, В. И.; Борисов, С. В.