Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/C 94 Автор(ы) : Kuznetsov M. V., Shalaeva E. V., Borisov S. V., Mitrofanov B. V., Ivanovsky A. L., Shveikin G. P. Заглавие : Cubic solid solution TixSiyNz(O) films: Synthesis, structure and electronic properties Место публикации : Mendeleev Communications. - 1995. - N 3. - С. 94-96. - ISSN 0959-9436. - ISSN 0959-9436 ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): пленки поликристаллические--поликристаллические пленки--свойства электронные--электронные свойства--растворы твердые--твердые растворы--tisin(o)--ti--титан--si--кремний--дуговой метод--метод дуговой Аннотация: Поликристаллические монофазные пленки твердых растворов TixSiyNz(O) со структурой В1 получены дуговым методом (состав мишени Ti0.7Si0.3, температура подложки 470 К, давление N 2 от 6 * 10(-2) до 1 * 10(-1) Па). Параметры решетки полученных кубических фаз изменяются в зависимости от состава от 4,21 до 4,30 А Доп.точки доступа: Kuznetsov, M. V.; Кузнецов Михаил Владимирович; Shalaeva, E. V.; Шалаева Елизавета Викторовна; Borisov, S. V.; Борисов Сергей Владимирович; Mitrofanov, B. V.; Митрофанов Борис Васильевич; Ivanovsky, A. L.; Ивановский Александр Леонидович; Shveikin, G. P.; Швейкин Геннадий Петрович