Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 54/И 88 Автор(ы) : Кузнецов М. В., Борисов С. В., Шепатковский О. П., Векслер Ю. Г., Кожевников В. Л. Заглавие : Исследование покрытий TiC-C методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии Параллельн. заглавия :Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchronton and Neutron Technigues Место публикации : Поверхность: Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - № 5. - С. 3-10: табл., граф. - ISSN 0207-3528. - ISSN 0207-3528 Примечания : Библиогр.: с. 10 (14 назв.) ББК : 54 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Аннотация: Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии исследованы покрытия на основе карбида титана, осажденные по КИБ-технологии в атмосфере С2H2/Ar. Установлено, что помимо кубической фазы оксикарбида TiCxOy в пленках присутвует углерод, находящийся в аморфном, предположительного графитоподобном, состоянии. В С1s-спектрах углерода TiCx-состоянию соответствует полоса при 282.0 эВ, в аморфному углероду - 284.4 эВ, C-H-связям - 286.0 эВ. Максимум при 283.0 эВ интерпретирован нами как состояние C в наноформах карбида титана: кластерах Ti14C13 или карбоэдренах Ti8C14. Соотношение между различными фазами варьируется условиями осаждения покрытий: в работе рассмотрены варианты осаждения TiC/a-C распылением Ti-катода в среде C2H2/Ar, распыление составной мишени Ti/C в среде Ar и C2H2/Ar. При использовании Ti-катода и смеси газов C2H2/Ar соотношение карбидных и аморфной a-C-фаз оценено как 1 : 1, поверхностный слой толщиной -15 нм обогащен аморфным углеродом. Предполагается, что композиционные покрытия TiC/a-C с дополнительной a-C-пленкой на поверхности будут обладать повышенной стойкостью к реакционным средам и хорошей биосовместимостью Держатели документа: Центральная научная библиотека УрО РАН Доп.точки доступа: Кузнецов, М. В.; Борисов, С. В.; Шепатковский, О. П.; Векслер, Ю. Г.; Кожевников, В. Л.