Пат. 2382116 Российская Федерация, МПК C23C 14/16 C23C 14/48. Гаврилов, Н. В. Способ нанесения аморфных углеводородных покрытий / Н. В. Гаврилов, А. С. Мамаев ; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики. - № 2008112387/02 ; Заявл. 31.03.2008 ; Опубл. 20.02.2010, М. // Изобретения. Полезные модели. - 2010. - № 5, Ч. II. - С. 660 Рубрики: ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ |