Пат. 2558599 Российская Федерация, МПК G03C1/725, G03C1/74, H01L21/3105. Способ изготовления фоточувствительной серебро-палладиевой резистивной пленки / В. М. Стяпшин, Г. М. Михеев, Р. Г. Зонов, А. С. Саушин ; РАН, г. Ижевск, Институт механики. - № 2013146749/05 ; Заявл. 18.10.2013 ; Опубл. 10.08.2015 // Изобретения. Полезные модели. - 2015. - № 22 Рубрики: ФИЗИКА |