Пат. 2676719 Российская Федерация, МПК B82B 3/00, C23C 14/24, C23C 14/08. Гаврилов, Николай Васильевич. Способ низкотемпературного нанесения нанокристаллического покрытия из альфа-оксида алюминия / Н. В. Гаврилов, А. С. Каменецких, П. В. Третников ; Заявитель и патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук. - № 2018105416 ; Заявл. 14.02.2018 ; Опубл. 10.01.2019 // Изобретения. Полезные модели. - 2019. - № 1 |