Пат. 2777062 Российская Федерация, МПК C23C 14/18, C23C 14/26, B82Y 30/00. Акашев, Лев Александрович. Способ получения наноразмерных пленок нитрида титана / Л. А. Акашев, Н. А. Попов, В. Г. Шевченко ; Патентообладатель Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук. - № 2022108166 ; Заявл. 29.03.2022 ; Опубл. 01.08.2022 // Изобретения. Полезные модели. - 2022. - № 22 |