Заявка 2004123741/06 Российская Федерация, МПК H02N 2/02 H01L 41/02. Липанов, А. М. Устройство микроперемещений / А. М. Липанов, П. В. Гуляев, Е. Ю. Шелковников, Н. И. Осипов, А. Е. Панич ; РАН, УрО, г. Ижевск, Институт прикладной механики. - № 2004123741/06 ; Заявл. 02.08.2004 ; Опубл. 27.01.2006, М // Изобретения. Полезные модели. - 2006. - № 3, Ч. III. - С. 816 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ |