Заявка 2008112387/02 Российская Федерация, МПК C23C 16/00. Гаврилов, Н. В. Способ осаждения аморфных углеводородных покрытий / Н. В. Гаврилов, А. С. Мамаев ; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики. - № 2008112387/02 ; Заявл. 31.03.2008 ; Опубл. 10.10.2009, М // Изобретения. Полезные модели. - 2009. - №28, Ч. II. - С. 323 Рубрики: ХИМИЯ--МЕТАЛЛУРГИЯ |