Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гаврилов Н. В., Меньшаков А. И. Заглавие : Способ формирования самонакаливаемого полого катода из нитрида титана для системы генерации азотной плазмы .- Коллективы : РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2014. - № 11 Доп.точки доступа: Меньшаков, А. И.; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики