Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Липилин, Александр Сергеевич, Шкерин, Сергей Николаевич, Никонов, Алексей Викторович, Гырдасова, Ольга Ивановна, Спирин, Алексей Викторович, Кузьмин А. В. Заглавие : Высокоактивная многослойная тонкопленочная керамическая структура активной части элементов твердооксидных устройств .- Коллективы : Институт электрофизики (Екатеринбург) Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2018. - № 21 Доп.точки доступа: Липилин, Александр Сергеевич; Шкерин, Сергей Николаевич; Никонов, Алексей Викторович; Гырдасова, Ольга Ивановна; Спирин, Алексей Викторович; Кузьмин, А. В.; Институт электрофизики (Екатеринбург)