Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Акашев, Лев Александрович, Попов, Николай Александрович, Шевченко, Владимир Григорьевич Заглавие : Способ получения наноразмерных пленок нитрида титана .- Коллективы : Институт химии твердого тела (Екатеринбург) Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2022. - № 22 Доп.точки доступа: Попов, Николай Александрович; Шевченко, Владимир Григорьевич; Институт химии твердого тела (Екатеринбург)