Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Гаврилов Н. В., Мамаев А. С. Заглавие : Способ осаждения аморфных углеводородных покрытий .- Коллективы : РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики Место публикации : Изобретения. Полезные модели. - 2009. - №28, Ч. II. - С. 323 Предметные рубрики: ХИМИЯ-- МЕТАЛЛУРГИЯ Доп.точки доступа: Мамаев, А. С.; РАН, УрО, г. Екатеринбург, Институт электрофизики