Инвентарный номер: 202119 - кх.
   З84
   К 43


    Киреев, Валерий Юрьевич.
    Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы : научное издание / В. Ю. Киреев, А. А. Столяров. - Москва : Техносфера, 2006. - 190, [1] с. - (Мир электроники). - Библиогр.: с. 188-190. - ISBN 5-94836-039-3 : 254.58 р.
ГРНТИ
ББК З844.1 + К663.086
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА
   ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ--ОТДЕЛЬНЫЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ И МЕТАЛЛООБРАБАТЫВАЮЩИЕ ПРОЦЕССЫ И ПРОИЗВОДСТВА


Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА