Л1 Б 49 Берлин, Евгений Владимирович. Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочное издание / Е. В. Берлин, Л. А. Сейдман. - Москва : Техносфера, 2010. - 527 с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-94836-222-9 : 493.28 р.
Рубрики: ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ. ХИМИЧЕСКИЕ ПРОИЗВОДСТВА--ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ--СПРАВОЧНИКИ Для заказа издания воспользуйтесь услугами МБА |