Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 546/А 69 Автор(ы) : Анохин, Валентин Захарович Заглавие : Кинетика и механизм термического окисления кремния Выходные данные : Воронеж: Изд-во Воронежского ун-та, 1983 Колич.характеристики :192, [3] с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 185-193 Цена : 1.80 р. ББК : 546.42-273.5 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ-- НЕОРГАНИЧЕСКАЯ ХИМИЯ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Угай, Я. А. (д-р хим. наук; проф.) \науч. ред.\