Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 648.4/E 49 Автор(ы) : Elwenspoek, Miko (1948-), Wiegerink, Remco Заглавие : Mechanical Microsensors : научное издание Выходные данные : [Berlin [et al.]]: Springer, 2001 Колич.характеристики :X, 295 с.: ил. Серия: Microtechnology and Mems .     Physics and Astronomy Online Library Примечания : Библиогр.: с. 274-290. - Указ.: с. 291-295 ISBN, Цена 3-540-67582-5: 2889.00 р. ГРНТИ : 47.01 ББК : 648.441 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Wiegerink, Remco