Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 539.2/L 95 Заглавие : Low Dielectric Constant Materials for IC Applications Выходные данные : Berlin [et al.]: Springer-Verlag, 2003 Колич.характеристики :VII, 309 с.: ил. Серия: Springer Series in Advanced Microelectronics; 9 Примечания : Библиогр. в конце гл. - Указ.: с. 305-309 ISBN, Цена 3-540-67819-0: 3322.00 р. ББК : 539.293.315 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Ho, Paul S. \ред.\; Lew, Jihperng (Jim) \ред.\; Lee, Wei William \ред.\