Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/К 43 Автор(ы) : Киреев, Валерий Юрьевич, Столяров, Александр Алексанрович Заглавие : Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы : научное издание Выходные данные : Москва: Техносфера, 2006 Колич.характеристики :190, [1] с Серия: Мир электроники Примечания : Библиогр.: с. 188-190 ISBN, Цена 5-94836-039-3: 254.58 р. ГРНТИ : 47.03.05 ББК : З844.1 + К663.086 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ-- ОТДЕЛЬНЫЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ И МЕТАЛЛООБРАБАТЫВАЮЩИЕ ПРОЦЕССЫ И ПРОИЗВОДСТВА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Столяров, Александр Алексанрович