Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Л1/Б 49 Автор(ы) : Берлин, Евгений Владимирович, Сейдман, Лев Александрович Заглавие : Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии : справочное издание Выходные данные : Москва: Техносфера, 2010 Колич.характеристики :527 с.: ил. Примечания : Библиогр. в конце глав ISBN, Цена 978-5-94836-222-9: 493.28 р. ГРНТИ : 61.13 ББК : Л114я22 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ. ХИМИЧЕСКИЕ ПРОИЗВОДСТВА-- ОСНОВНЫЕ ПРОЦЕССЫ И АППАРАТЫ ХИМИЧЕСКОЙ ТЕХНОЛОГИИ Экземпляры :ч/з(1) Свободны : ч/з(1) Доп.точки доступа: Сейдман, Лев Александрович