Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : З84/В 24 Автор(ы) : Чистяков, Юрий Дмитриевич, Райнова, Юлия Петровна Заглавие : Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: [учеб. изд.] : в двух т./ [ред. Ю. Н. Коркишко]. - (Нанотехнологии). Т. 1: Физико-химические основы технологии микроэлектроники Выходные данные : Москва: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 Колич.характеристики :392 с.: граф., рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 386-389 ISBN, Цена 978-5-9963-0335-9: 360.00 р. ГРНТИ : 47 ББК : З844.1я73 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Коркишко, Ю. Н. \ред.\; Райнова, Юлия Петровна