Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 539.2/С 38 Заглавие : Синтез, свойства и применение диэлектриков с высокой диэлектрической проницаемостью в кремниевых приборах : научное издание Выходные данные : Новосибирск: Изд-во СО РАН, 2011 Колич.характеристики :157 с Коллективы : Ин-т физики полупроводников и диэлектриков им. А. В. Ржанова СО РАН Серия: Интеграционные проекты СО РАН; вып. 31 Разночтения заглавия :Загл. на доп.тит.листе: Synthesis, properties and applications of dielectric with high delectric constanye in silicon based devices ISBN, Цена 978-5-7692-1183-6: 600.00, 200.00, р. ГРНТИ : 29.19 ББК : 539.293 Предметные рубрики: ФИЗИКА-- ФИЗИКА ПОЛУПРОВОДНИКОВ И ДИЭЛЕКТРИКОВ Экземпляры : всего : кх(2) Свободны : кх(2) Доп.точки доступа: Асеев, А. Л. \отв. ред.\; Гриценко, В. А. \отв. ред.\; Ин-т физики полупроводников и диэлектриков им. А. В. Ржанова СО РАН