Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : К66/В 14 Автор(ы) : Ильин, Александр Анатольевич, Плихунов, Виталий Вениаминович, Петров, Леонид Михайлович, Спектор, Виктор Семенович Заглавие : Вакуумная ионно-плазменная обработка : учебное пособие для вузов Выходные данные : Москва: Альфа-М: Инфра-М, 2014 Колич.характеристики :157 с Серия: Современные технологии: Магистратура Примечания : Библиогр.: с. 150-155. - Авт. указ. на обороте тит. л. ISBN, Цена 978-5-98281-366-4: 239.14 р. ГРНТИ : 53.01.97 ББК : К663я73 Предметные рубрики: ТЕХНОЛОГИЯ МЕТАЛЛОВ. МАШИНОСТРОЕНИЕ. ПРИБОРОСТРОЕНИЕ-- ОТДЕЛЬНЫЕ МАШИНОСТРОИТЕЛЬНЫЕ И МЕТАЛЛООБРАБАТЫВАЮЩИЕ ПРОЦЕССЫ И ПРОИЗВОДСТВА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Ильин, Александр Анатольевич; Плихунов, Виталий Вениаминович; Петров, Леонид Михайлович; Спектор, Виктор Семенович