Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : Ж3/A 22 Заглавие : Advanced Interconnects for ULSI Technology : сборник Выходные данные : Chichester: A john Wiley&Sons, 2012 Колич.характеристики :XXVI, 579, [4] вкл. л. фото с Примечания : Библиогр. в конце глав. - Указ.: с. 565-579 ISBN, Цена 978-0-470-66254-0: 8261.00 р. ГРНТИ : 81.09 ББК : Ж3я43 Предметные рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ-- СЫРЬЕ-- МАТЕРИАЛЫ-- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Baklanov, Mikhail R. \ed.\; Ho, Paul S. \ed.\; Zchech, Ehrenfried \ed.\