Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : З84/Н 25 Автор(ы) : Авдеев С. П., Авидов В. И., Агеев В. О., Агеев О. А., Адябьева Н. И. Заглавие : Нанотехнологии в микроэлектронике : монография Выходные данные : Москва: Наука, 2019 Колич.характеристики :511, [12] вкл. л. фото с.: граф. Коллективы : Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета Разночтения заглавия :Загл. на доп.тит.листе: Nano-technology in Micro-electronics Примечания : Библиогр. в конце глав. - Авт. указаны на обороте тит. л. ISBN, Цена 978-5-02-040201-0: 50.00 р. ГРНТИ : 47.01 ББК : З844.1 Предметные рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА-- ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1) Доп.точки доступа: Авдеев, С. П.; Авидов, В. И.; Агеев, В. О.; Агеев, О. А.; Адябьева, Н. И.; Агеев, О. А. \ред.\; Коноплев, Б. Г. \ред.\; Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета