Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 642/G 71 Автор(ы) : Graff, Klaus Заглавие : Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication . -2nd ed., revised Выходные данные : Berlin [et al.]: Springer-Verlag, 2000 Колич.характеристики :268 c.: ил., табл. Серия: Springer Series in Materials Science; 24 Примечания : Библиогр.: с. 246-266. - Указ.: с. 267-268 ISBN, Цена 3-540-64213-7: 693.08 р. ББК : 642.330.8 + 664.287 Предметные рубрики: ЭНЕРГЕТИКА-- ЭЛЕКТРОТЕХНИКА-- ЭЛЕКТРОЭНЕРГЕТИКА ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ-- ТЕХНОЛОГИЯ НЕОРГАНИЧЕСКИХ ВЕЩЕСТВ-- ТЕХНОЛОГИЯ ОСНОВНЫХ ХИМИЧЕСКИХ ПРОДУКТОВ Экземпляры :кх(1) Свободны : кх(1)