Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : 24/M 39 Автор(ы) : Matsuda T., Nakamura S., Ide K., Nyudo K., Yae S., Nakato Y. Заглавие : Осцилляционноек поведение в реакции электрохимического осаждения тонких пленок поликристалличекого кремния путем восстановления четыреххлористого кремния в расплавленном солевом электролите Место публикации : Chem. Lett. - 1996. - 7, 569-570 Примечания : РЖ Химия. - 1997: 8Б3251 ББК : 24 Предметные рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): хлориды, фториды, si, кинетика, пленки Доп.точки доступа: Nakamura, S.; Ide, K.; Nyudo, K.; Yae, S.; Nakato, Y.