Т 36 Тестовая структура для определения радиуса кривизны микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии / А. Н. Белов, С. А. Гаврилов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 5-6 . - С. 95-98 : рис. - Библиогр. : с.98 (10 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СТРУКТУРА ТЕСТОВАЯ -- ЗОНДЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- РАДИУС КРИВИЗНЫ Аннотация: Приведено описание тестовой структуры на основе нанопрофилированного алюминия для определения радиуса кривизны острия игл микромеханических зондов сканирующей силовой микроскопии. На примере исследования геометрии различных микромеханических зондов проведена апробация тестовой структуры. Показано, что ее использование позволило определить геометрию острия зондов, в т.ч. сверхострых, радиус кривизны острия игл у которых составлял 2 нм |