648.4 В 24 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : [учеб. изд.] : в двух т. / [ред. Ю. Н. Коркишко]. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-9. Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - 2010. - 392 с. : граф., рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 360.00 р.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ |