Н 52 Неохлаждаемые микроболометры на основе поликристаллического SiGe для инфракрасного диапазона / А. В. Войцеховский [и др.] // № 2. - С. 41-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (44 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕТЕКТОРЫ ИНФРАКРАСНЫЕ -- МИКРОБОЛОМЕТРЫ НЕОХЛАЖДАЕМЫЕ -- СИЛИЦИД ГЕРМАНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ Аннотация: Рассмотрены особенности технологии создания неохлаждаемых микроболометрических детекторов на основе пленок полиметаллического силицида германия, а также параметры дискретных и матричных детекторов на основе данного материала. Потенциальные преимущества детекторов данного типа могут быть реализованы при совмещении технологии создания детекторов с кремниевой КМОП-технологией |