М 59 Микроэлектронные преобразователи давления для средств регулирования и мониторинга технологических процессов в энергосберегающих системах / Д. В. Гусев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 43-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОАВТОМАТИКА -- ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО ДАВЛЕНИЯ Аннотация: Рассматриваются конструкции микроэлектронных преобразователей давления, выполненных на базе кремниевых структур. Приведена конструкция, обеспечивающая защиту микроэлектронного преобразователя от воздействия окружающей среды, а также варианты использования в системах теплоавтоматики |