648.4 В 24 Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : [учеб. изд.] : в двух т. / [ред. Ю. Н. Коркишко]. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-9. Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок [и др.]. - 2011. - 252 с. : граф., рис., табл. - Библиогр.: с. 243-248. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 303.60 р.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ |