Р 25 Раткин , Л. С. Проблемы стандартизации и метрологического обеспечения в нано-и микроэлектронике / Л. С. Раткин > // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 2-3. - Библиогр. : с. 3 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТРОЛОГИЯ -- СТАНДАРТИЗАЦИЯ -- НАНОЭЛЕКТРОНИКА -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА Аннотация: В середине 2010 года при поддержке ГК "Российская корпорация нанотехнологий" и Федеpального агентства по техническому регулированию и метрологии в г. Черноголовка Московской области была организована и проведена Третья школа "Метрология и стандартизация в нанотехнологиях и наноиндустрии". В числе наиболее актуальных проблем, обсуждавшихся на сессиях - особенности метрологического обеспечения и стандартизации в микро- и наноэлектронике |