М 97 МЭМС высокого уровня - возможный путь развития МЭМС в России / В. В. Аравин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 6. - С. 28-31 : рис. - Библиогр. : с. 31 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ПРОИЗВОДСТВО -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ Аннотация: На основе анализа тенденций развития МЭМС предлагается использование концепции МЭМС высокого уровня как ведущего направления разработок и производства МЭМС в России |