М 97 МЭМС-детекторы инфракрасного диапазона / А. В. Войцеховский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 42-49 : рис., табл. - Библиогр. : с. 49 (39 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕТЕКТОРЫ ИНФРАКРАСНЫЕ -- МЭМС -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены особенности технологии создания микpоэлектpомеханических систем на основе неохлаждаемых тепловых детекторов инфракрасного диапазона, а также параметры дискретных и матричных детекторов данного типа. Особое внимание уделяется новому типу тепловых детекторов - микрокантилеверам с электрическим и оптическим считыванием |